收集装置

摘要

本发明提供一种收集装置，包括用于从处理腔室中排出之废弃物流中分离一液体化合物之构件，用于收集自该废弃物流中分离之该液体化合物之构件，用于选择性地将该所收集之液体化合物与该废弃物流隔离之构件，及用于蒸发该所收集之液体化合物以使该化合物以气体形态返回至该废弃物流中之构件。此装置可使一挥发性液体收集于一界定位置处，与该废弃物流隔离，并当如此期望时使该挥发性液体以气体形态返回至该废弃物流中以用于随后减量。