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发明名称 DEVICE FOR CONNECTING TWO PIPES AND APPARATUS FOR PROCESSING A SEMICONDUCTOR SUBSTRATE USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100669856(B1) 申请公布日期 2007.01.16
申请号 KR20050043377 申请日期 2005.05.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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