发明名称 Piezoelectric driven resistance?type RF MEMS switch and manufacturing method thereof
摘要
申请公布号 KR100668614(B1) 申请公布日期 2007.01.16
申请号 KR20050010849 申请日期 2005.02.04
申请人 发明人
分类号 H01H59/00;B81B7/02;H01L41/09 主分类号 H01H59/00
代理机构 代理人
主权项
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