Method of manufacturing a pattern structure and Method of manufacturing a trench using the same,申请号KR20050061028-传众专利搜索

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发明名称	Method of manufacturing a pattern structure and Method of manufacturing a trench using the same
摘要
申请公布号	KR100669101(B1)	申请公布日期	2007.01.16
申请号	KR20050061028	申请日期	2005.07.07
申请人		发明人
分类号	H01L21/027	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
主权项
地址

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