Method of controlling temperature of hot plate,申请号KR20040082063-传众专利搜索

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发明名称	Method of controlling temperature of hot plate
摘要
申请公布号	KR100669641(B1)	申请公布日期	2007.01.15
申请号	KR20040082063	申请日期	2004.10.14
申请人		发明人
分类号	H01L21/027;H01L21/02	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
主权项
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