PHASE SHIFT MASK FOR CONTACT HOLE,申请号KR20000036408-传众专利搜索

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发明名称	PHASE SHIFT MASK FOR CONTACT HOLE
摘要
申请公布号	KR100669559(B1)	申请公布日期	2007.01.15
申请号	KR20000036408	申请日期	2000.06.29
申请人		发明人
分类号	H01L21/027	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
主权项
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