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发明名称 PASSIVIERUNGSSCHICHTSTRUKTUR
摘要
申请公布号 AT348403(T) 申请公布日期 2007.01.15
申请号 AT20000960303T 申请日期 2000.07.24
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 ROEHL, SIEGFRIED;VON BASSE, PAUL-WERNER;SCHEITER, THOMAS;SASSE, THORSTEN;OPOLKA, HEINZ
分类号 G01D5/24;G06K9/00;(IPC1-7):H01L21/314;G06K9/20 主分类号 G01D5/24
代理机构 代理人
主权项
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