发明名称 METHOD FOR FORMING RECESS GATE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100669557(B1) 申请公布日期 2007.01.15
申请号 KR20040115335 申请日期 2004.12.29
申请人 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
地址