具有晶片冷却结构之真空腔体

摘要

一种具有晶片冷却结构之真空腔体，该真空腔体具有呈圆弧表面之一冷却基座，将周缘具有弹性化爪扣之晶片置放于该冷却基座的上表面，在爪扣处置予重物而压弯晶片以贴合该冷却基座的上表面，以一冷却介质流通于该真空腔体外之该冷却基座的下表面。

主权项

1.一种具有晶片冷却结构之真空腔体,其特征在于: 该真空腔体具有呈圆弧表面之一冷却基座,将周缘 具有弹性化爪扣之晶片置放于该冷却基座的上表 面,在爪扣处置予重物而压弯晶片以贴合该冷却基 座的上表面,以一冷却介质流通于该真空腔体外之 该冷却基座的下表面。 2.如申请专利范围第1项所述之具有晶片冷却结构 之真空腔体,更包含: 一泵浦,抽取该真空腔体内的空气,使该真空腔体 内保持真空的状态;以及 一阀,关闭该阀,避免空气进入该真空腔体内,使该 真空腔体内保持真空的状态,打开该阀,由该泵浦 抽取该真空腔体内的空气。 3.如申请专利范围第1项所述之具有晶片冷却结构 之真空腔体,其中,该冷却介质系为水。 图式简单说明: 图1为习知技术具有冷却结构之真空腔体的示意图 ;以及 图2为本案具有冷却结构之真空腔体的示意图。