| 主权项 |
1.一种具识别及充气装置之氮气柜,包括: 一箱体,包括有一箱门、及一氮气入口,该氮气入 口与一氮气供应装置相通; 至少一架体,系组设于该箱体内,该至少一架体并 区隔出复数承置格; 复数物料盒,每一物料盒系分别组设于每一承置格 上,并包括有至少一充气口、及一识别元件;以及 至少一充气装置,系组设于该箱体内,并与该氮气 入口相通。 2.如申请专利范围第1项所述之具识别及充气装置 之氮气柜,其更包括有一控制单元,系组设于该箱 体内,用以管理该复数物料盒。 3.如申请专利范围第1项所述之具识别及充气装置 之氮气柜,其中,该物料盒系为下述至少其一:晶圆 盒、及光罩盒。 4.如申请专利范围第1项所述之具识别及充气装置 之氮气柜,其中,该识别元件系为下述至少其一:二 维条码、及射频识别晶片。 5.如申请专利范围第1项所述之具识别及充气装置 之氮气柜,其更包括有一读取器,系组设于该箱体 外面,用以读取该识别元件之资料。 6.如申请专利范围第1项所述之具识别及充气装置 之氮气柜,其更包括有一显示器,系组设于该箱体 外面,用以显示每一物料盒之资料。 7.如申请专利范围第1项所述之具识别及充气装置 之氮气柜,其更包括有一离子棒,系组设于该箱体 内,用以清除该箱体内之静电。 8.如申请专利范围第1项所述之具识别及充气装置 之氮气柜,其更包括有一信号灯,系组设于该箱体 外面,用以显示操作状态。 9.如申请专利范围第1项所述之具识别及充气装置 之氮气柜,其更包括有一箱体压力表,系组设于该 箱体外面,用以显示箱体内之氮气压力。 10.如申请专利范围第1项所述之具识别及充气装置 之氮气柜,其更包括有一流量表,系组设于该箱体 外面,用以显示充填氮气之流量。 11.如申请专利范围第1项所述之具识别及充气装置 之氮气柜,其更包括有一充气按钮,系组设于该箱 体外面,用以开启该充气装置。 12.如申请专利范围第1项所述之具识别及充气装置 之氮气柜,其更包括有一排气按钮、及一氮气回收 装置,该箱体更包括一氮气出口,其系与该氮气回 收装置相通,该排气按钮系组设于该箱体外面,用 以开启该氮气回收装置。 13.如申请专利范围第1项所述之具识别及充气装置 之氮气柜,其更包括有一紧急按钮,系组设于该箱 体外面,用以快速排气。 14.如申请专利范围第1项所述之具识别及充气装置 之氮气柜,其更包括有一高效率微粒滤网,系组设 于该氮气入口,用以过滤氮气。 图式简单说明: 图1系本创作一较佳实施例之箱门关闭立体图。 图2系本创作一较佳实施例之箱门开启立体图。 图3系本创作一较佳实施例之前视图。 图4系本创作一较佳实施例之物料盒立体图。 |
