发明名称 膜状接着剂之贴附装置
摘要 本发明之课题系针对膜状接着剂之贴附装置,防止将膜状接着剂卷绕成辊状之膜状接着剂供给卷轴之卷紧所导致之接着剂层的渗出以及膜状接着剂之结块化。本发明之解决手段系提供一种膜状接着剂之贴附装置10A,其具备:供给卷轴卡止部11(安装有膜状接着剂供给卷轴5,该膜状接着剂供给卷轴5系用以将由基膜2与其上所形成之接着剂层3所构成之膜状接着剂1卷绕成辊状)、热压合机构18(将自膜状接着剂供给卷轴5所拉出之膜状接着剂1热压合于受着体上)、卷取卷轴卡止部17(安装有卷取卷轴16,该卷取卷轴16系用以卷取热压合后之膜状接着剂1之基膜2);其中,设有一温度控制机构(热阻绝板19、冷却器等),该温度控制机构可将于供给卷轴卡止部11所安装之膜状接着剂供给卷轴5控制在既定温度。
申请公布号 TWI270951 申请公布日期 2007.01.11
申请号 TW092104982 申请日期 2003.03.07
申请人 索尼化学&信息部件股份有限公司 发明人 熊仓 博之;山田 幸男
分类号 H01L21/603(2006.01) 主分类号 H01L21/603(2006.01)
代理机构 代理人 桂齐恒 台北市中山区长安东路2段112号9楼;阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项 1.一种膜状接着剂之贴附装置,其具备:供给卷轴卡 止部(安装有膜状接着剂供给卷轴,该膜状接着剂 供给卷轴系用以将由基膜与其上所形成之接着剂 层所构成之膜状接着剂卷绕成辊状)、热压合机构 (将自膜状接着剂供给卷轴所拉出之膜状接着剂热 压合于受着体上)、卷取卷轴卡止部(安装有卷取 卷轴,该卷取卷轴系用以卷取热压合后之膜状接着 剂之基膜);其特征在于:设有一温度控制机构,该温 度控制机构可将于供给卷轴卡止部所安装之膜状 接着剂供给卷轴控制在既定温度。 2.如申请专利范围第1项之贴附装置,其中,温度控 制机构系将于供给卷轴卡止部所安装之膜状接着 剂供给卷轴控制在10~30℃。 3.如申请专利范围第1或2项之贴附装置,其中,温度 控制机构系由热阻绝板所构成,该热阻绝板可使得 于供给卷轴卡止部所安装之膜状接着剂供给卷轴 与热压合机构呈热阻绝。 4.如申请专利范围第1或2项之贴附装置,其中,温度 控制机构系由冷却器所构成,该冷却器可对于供给 卷轴卡止部所安装之膜状接着剂供给卷轴吹送冷 风。 5.如申请专利范围第1或2项之贴附装置,其中,温度 控制机构系由供给卷轴卡止部之冷却轴所构成,该 冷却轴可将于供给卷轴卡止部所安装之膜状接着 剂供给卷轴自该卷轴之卷绕中心侧开始进行冷却 。 图式简单说明: 图1系本发明之膜状接着剂之贴附装置之示意图。 图2系异向导电性膜之卷轴的侧视图(a)与部分放大 图(b)。 图3系卷轴周围之环境气氛温度与接着剂层之渗出 量的关系图。 图4系以往之膜状接着剂之贴附装置之示意图。 图5系由于卷轴内之卷紧造成异向导电性接着剂层 成为渗出状态之膜状接着剂的侧视图。
地址 日本