发明名称 定位装置及控制定位装置的方法
摘要 一移动构件沿一预定的导向路径移动。一支撑构件自该移动构件延伸而出。一处理单元固定在该支撑构件的末端。一感测器探测该移动构件的移动。当移动构件已经停止移动时,处理单元会因为作用于处理单元上的惯性而处于暂态。该暂态系根据感测器信号的波形来侦测。因此,处理单元的位置就可以根据感测器信号精准地加以侦测。处理单元开始作业的时间可以最适当地被确定。从而允许处理单元在确定的时间开始作业。当移动构件停止移动后,即使在处理单元中仍保持暂态,处理单元依然可以在较短的时间内就开始作业。
申请公布号 TWI270758 申请公布日期 2007.01.11
申请号 TW094117245 申请日期 2005.05.26
申请人 富士通股份有限公司 发明人 小林泰山;高田英治;须藤和巳
分类号 G05B19/402(2006.01) 主分类号 G05B19/402(2006.01)
代理机构 代理人 恽轶群 台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎 台北市松山区南京东路3段248号7楼
主权项 1.一种定位装置,包含: 一沿一预定的导向路径移动之移动构件; 一由该移动构件延伸而出的支撑构件; 一固定于该支撑构件之一末端的处理单元; 一侦测该移动构件的移动之感测器;以及 一依据一感测器信号来决定该处理单元开始作业 的时间之控制电路,该感测器信号系于该移动构件 已经停止移动时,从该感测器被输出。 2.如申请专利范围第1项之定位装置,其中该控制电 路系根据该感测器信号之一周期来决定该时间。 3.如申请专利范围第1项之定位装置,其中该处理单 元包括一曝光机构。 4.一种控制一定位装置的方法,该方法包含: 当一移动构件已经停止移动时,对由一感测器输出 之一感测器信号的波形进行监测,该感测器系用以 侦测该移动构件沿一预定的导向路径进行移动的 运动;以及 根据该波形来决定一处理单元开始作业的时间,该 处理单元系支撑在该移动构件上。 5.如申请专利范围第4项之方法,其中该时间系依据 该波形的一个周期来决定。 图式简单说明: 第1图所示为本发明一实施例之晶片装配机的结构 透视图; 第2图所示为一摄像单元和一可移动构件在一暂态 期间中的状态之截面图; 第3图所示为从一脉冲信号导出的波形之曲线图; 第4图所示为本发明一变更态样的晶片装配机的结 构透视图; 第5图所示为从一脉冲信号导出的波形之曲线图; 以及 第6图是所示为本发明另一变更态样的晶片装配机 的结构透视图。
地址 日本