主权项 |
1.一种定位装置,包含: 一沿一预定的导向路径移动之移动构件; 一由该移动构件延伸而出的支撑构件; 一固定于该支撑构件之一末端的处理单元; 一侦测该移动构件的移动之感测器;以及 一依据一感测器信号来决定该处理单元开始作业 的时间之控制电路,该感测器信号系于该移动构件 已经停止移动时,从该感测器被输出。 2.如申请专利范围第1项之定位装置,其中该控制电 路系根据该感测器信号之一周期来决定该时间。 3.如申请专利范围第1项之定位装置,其中该处理单 元包括一曝光机构。 4.一种控制一定位装置的方法,该方法包含: 当一移动构件已经停止移动时,对由一感测器输出 之一感测器信号的波形进行监测,该感测器系用以 侦测该移动构件沿一预定的导向路径进行移动的 运动;以及 根据该波形来决定一处理单元开始作业的时间,该 处理单元系支撑在该移动构件上。 5.如申请专利范围第4项之方法,其中该时间系依据 该波形的一个周期来决定。 图式简单说明: 第1图所示为本发明一实施例之晶片装配机的结构 透视图; 第2图所示为一摄像单元和一可移动构件在一暂态 期间中的状态之截面图; 第3图所示为从一脉冲信号导出的波形之曲线图; 第4图所示为本发明一变更态样的晶片装配机的结 构透视图; 第5图所示为从一脉冲信号导出的波形之曲线图; 以及 第6图是所示为本发明另一变更态样的晶片装配机 的结构透视图。 |