连线隆起物材料

摘要

解决用的Au连线隆起物材料所具的问题点而予完成者，且以下述者为目的。(1)需使接合(焊接)至Al焊垫的Au-Ag合金隆起物之焊球形状接近真圆。(2)需可使接合至Al焊垫的Au-Ag合金隆起物之可靠信提高。(3)需缩短Au-Ag合金隆起物之尾部长度。(4)需提高耐焊剂熔蚀性。(5)需减少由连线隆起物引起的毛细管压接工具尖端或尖端附近之孔洞被沾污的程度。本发明系以于由Au基体与微量添加元素所构成的纯度99.99质量％以上的Au合金内，使含有纯度99.99质量％以上的Ag 1~40质量％而成的 Au-Ag合金为特征之连线隆起物材料。

主权项

1.一种连线隆起物材料,其特征在于于由Au基体与 微量添加元素所构成的纯度99.99质量%以上的Au合 金内,使含有纯度99.99质量%以上的Ag 1~40质量%而成 的Au-Ag合金而成。 2.根据请求项1所述的连线隆起物材料,该微量添加 元素系含有Ca5~50质量ppm、Be 1~20质量ppm及/或稀土 元素5~90质量ppm。 3.根据请求项1所述的连线隆起物材料,该微量添加 元素系含有由Ge、Mg、Sr、Bi、Zn、Si、Ga、Sn、Sb、B 及Li之中选出的至少一种10~90质量ppm。 4.根据请求项1所述的连线隆起物材料,该微量添加 元素系含有Ca 5~50质量ppm、Be 1~20质量ppm及/或稀土 元素3~90质量ppm,再含有由Ge、Mg、Sr、Bi、Zn、Si、Ga 、Sn、Sb、B及Li之中选出的至少一种10~90质量ppm(惟 ,B及Li各自单独时,则为0.5~40质量ppm)。 5.根据请求项1至4之任一项所述的连线隆起物材料 ,该Au基体系含有Ag 5~25质量%而成的Au-Ag合金。 6.根据请求项2或4所述的连线隆起物材料,该稀土 元素系Y、La、Ce、Eu、Nd,Gd及/或Sm。 7.根据请求项1至4之任一项所述的连线隆起物材料 ,该连线隆起物材料系使Pb系焊剂或Sn系焊剂接合 者。 8.根据请求项1至4之任一项所述的连线隆起物材料 ,该连线隆起物材料系使无Pb-Sn系焊剂与倒装片接 合者。 9.根据请求项1至4之任一项所述的连线隆起物材料 ,该连线隆起物材料系使熔点170℃~260℃之无Pb-Sn系 焊剂与倒装片接合者。