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发明名称 BELEUCHTUNGSSYSTEM MIT GENESTETEM KOLLEKTOR ZUR ANNULAREN AUSLEUCHTUNG EINER AUSTRITTSPUPILLE
摘要
申请公布号 DE50305840(D1) 申请公布日期 2007.01.11
申请号 DE2003505840 申请日期 2003.01.20
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 SINGER, WOLFGANG;WANGLER, JOHANNES;SOHMEN, ERIC
分类号 G02B19/00;G21K1/06;G03F7/20;G21K5/02;H01L21/027 主分类号 G02B19/00
代理机构 代理人
主权项
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