| 发明名称 |
Verfahren zum Bilden einer im wesentlichen gleichmäßigen Anordnung scharfer Emitterspitzen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19501387(B4) |
申请公布日期 |
2007.01.11 |
| 申请号 |
DE19951001387 |
申请日期 |
1995.01.18 |
| 申请人 |
MICRON TECHNOLOGY INC. |
发明人 |
CATHEY, DAVID A.;TJADEN, KEVIN |
| 分类号 |
C23F4/00;H01J9/02;G09F9/33;H01J1/304;H01J29/50 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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