发明名称 Kontaktstruktur für elektronische EPROM oder flash EPROM Halbleiterschaltungen und ihr Herstellungsverfahren
摘要
申请公布号 DE69636738(D1) 申请公布日期 2007.01.11
申请号 DE19966036738 申请日期 1996.12.27
申请人 STMICROELECTRONICS S.R.L., AGRATE BRIANZA 发明人 CAMERLENGHI, EMILIO;CAPRARA, PAOLO;FONTANA, GABRIELLA
分类号 H01L21/28;H01L27/00;H01L21/60;H01L21/768;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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