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发明名称 Plasmabearbeitungsvorrichtung
摘要
申请公布号 DE69736081(T2) 申请公布日期 2007.01.11
申请号 DE19976036081T 申请日期 1997.09.25
申请人 SURFACE TECHNOLOY SYSTEMS PLC 发明人 BHARDWAJ, JYOTI KIRON;LEA, LESLIE MICHAEL
分类号 H01J37/32;C23C16/50;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/31;H01Q7/00;H05H1/46 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
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