发明名称 Verfahren zur Freigabeverbesserung einer Halbleiterplatte
摘要
申请公布号 DE69932010(T2) 申请公布日期 2007.01.11
申请号 DE19996032010T 申请日期 1999.08.21
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 LIN, CHENTING
分类号 H01L21/306;B24B37/04;H01L21/304 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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