发明名称 Method of estimating the concentration of metal contamination in wafer and apparatus for heating wafer
摘要
申请公布号 KR100668101(B1) 申请公布日期 2007.01.11
申请号 KR20050052463 申请日期 2005.06.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/324;H01L21/66 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
地址