氧化铝粒子、其制造方法、含有该粒子的组合物和研磨用氧化铝料浆

摘要

本发明涉及通过气相法由氯化铝制备的氧化铝粒子，该粒子是无定型或者过渡氧化铝粒子，结晶型例如是无定型、γ、δ、θ的任意一种或者它们的混合型，并且平均一次粒径为5～100nm，一次粒子凝聚的平均二次粒径为50～800nm大氧化铝粒子。

主权项

1.一种氧化铝粒子，该粒子是采用气相法由氯化铝制备的氧化铝粒子，该氧化铝的结晶型是无定型或者过渡氧化铝，并且平均一次粒径为5～100nm，一次粒子凝聚形成的平均二次粒径为50～800nm，并且二次粒径大于45μm的粒子为0.05质量％或以下。