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摘要 <p>A resonator device includes a resonator supported by a substrate as a base. The resonator is connected to a wire extending from the substrate by wire bonding so as to be suspended in midair and supported over the supporting substrate.</p>
申请公布号 JP3864952(B2) 申请公布日期 2007.01.10
申请号 JP20030401443 申请日期 2003.12.01
申请人 发明人
分类号 H01L21/60;H03H9/05;H03B5/30;H03H3/02;H03H9/02;H03H9/10;H03H9/25 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
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