有源矩阵板的检查设备和方法，以及有源矩阵有机发光二极管板的制造方法

摘要

本发明涉及有源矩阵板的检查设备和方法，以及有源矩阵有机发光二极管板的制造方法。该检查方法包括在衬底上形成薄膜晶体管阵列从而制造有源矩阵板的阵列工艺；对制造出的有源矩阵板进行性能测试的检查过程；以及在检查过程之后将有机发光二极管安装到有源矩阵板上的单元工艺。在所述检查过程中，在构成在阵列工艺中制造的有源矩阵板的激励薄膜晶体管被导通和关断时，测量通过像素电极的寄生电容的变化，从而检查激励薄膜晶体管中的任何开路/短路缺陷。

主权项

1.一种用于有源矩阵板的检查设备，用于在形成有机发光二极管之前检查有源矩阵板，包括：电压改变装置，用于改变构成有源矩阵板的激励薄膜晶体管的检查线路上的电压；和测量装置，用于在所述电压改变装置改变所述检查线路上的电压时在激励薄膜晶体管的源极侧测量在线路上流过的瞬变电流，并测量在激励薄膜晶体管的关断状态和导通状态之间寄生电容的变化。