以定向碳纳米管层作为气敏层的气敏传感器的制造方法

摘要

一种以定向碳纳米管层作为气敏层的气敏传感器的制造方法，其特征在于：A)铝质底板表面经阳极氧化处理后形成具有预定大小的纵向微孔的Al₂O₃层；B)在预定浓度配比的电解液中，采用电化学法将Co纳米粒子沉积在纵向微孔底部；C)采用真空溅射技术在已经镀Co纳米粒子的Al₂O₃层上制成叉指金电极；D)在650℃～680℃下，采用CVD法在Al₂O₃层上定向生长碳纳米管层。同现有技术比较，本发明具有如下突出优点：1)在铝表面作阳极氧化处理时可对纵向微孔参数可进行优选；2)气敏层是定向碳纳米管层，可显著优化苯系气体的响应特性；3)采用Co纳米粒子作为催化剂，可以保证定向碳纳米管可控生长；4)本传感器可在常温下工作，有利于实现电导型气敏传感器的微型化、集成化。

主权项

1.一种以定向碳纳米管层作为气敏层的气敏传感器的制造方法，包括在铝质底板上制成绝缘层，叉指金电极以及气敏层，其特征在于该方法采用如下步骤：A)铝质底板(1)表面经阳极氧化处理后形成孔径为50～60nm、孔距为100～120nm、孔深为2μm的纵向微孔的三氧化二铝层作为绝缘层(2)；B)用浓度为60g/l的CoSO4·7H2O溶液和浓度为3.5g/l的H3BO3溶液配成电解液，控制其配比，使电解液PH值为3.1～3.7，采用电化学法将Co纳米粒子沉积在Al2O3绝缘层上的纵向微孔底部；C)采用真空溅射技术在微孔底部沉积有Co纳米粒子的绝缘层(2)上制成叉指金电极(3)；D)在650℃～680℃下，在微孔底部沉积有Co纳米粒子的绝缘层(2)上未被叉指金电极覆盖的部分，采用CVD法定向生成碳纳米管层为气敏层(4)。