光学读出热型红外图像传感器

摘要

本发明是一种光学读出热型红外图像传感器，包括固定在支撑梁上的微梁单元，微梁单元中包含热变形机构和红外吸收板，热变形机构形成折转式分布；其特征在于：热变形机构为两层，由上层和下层连续回折构成；上层的初级与红外吸收板连接、下层的末级与支撑梁连接；上下两层热变形梁的不同方向的表面上有金属薄膜，最末一级或二级为热隔离梁；上层和下层微梁还可以错位。所述微梁单元可以直接采用顺序平铺的方式构成阵列。本发明克服了现有技术中感热像素的平面尺寸有限而红外吸收板和热变形机构又希望尽可能大的矛盾，使微梁单元单位温升的热变形量、感热单元的占空比、红外线的吸收效率等进一步提高，从而提高其红外探测灵敏度。

主权项

1、一种光学读出热型红外图像传感器，包括固定在支撑梁上的微梁单元；微梁单元为侧向支撑的无底平面结构；微梁单元中包含热变形机构和红外吸收板；热变形机构为两组，其一端各自连接于红外吸收板的两侧、另一端各自与支撑梁连接；热变形机构由折转式分布的热变形梁和热隔离梁构成；其特征在于：热变形机构为两层，由上层梁和下层梁连续回折构成，上下层之间通过梁端部的连接段相连；上层梁的初级与红外吸收板连接、下层梁的末级与支撑梁连接；热变形机构的末端至少一级为热隔离梁、其余为热变形梁；上下两层热变形梁的表面上都附着金属薄膜、且所附表面的方向相反。