| 发明名称 | 氧化物薄膜衬底加热装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种氧化物薄膜衬底加热装置，包括带有发热面的发热体、衬底定位组件、防热辐射罩，其中，衬底定位组件设置在发热体的发热面的上方，发热体和衬底定位组件设置在防热辐射罩内，衬底定位组件上方的防热辐射罩上带有与衬底定位组件所限定的面积大小及形状相对应的开口，衬底定位组件和防热辐射罩都固定在底座上，底座上设置有沿发热面的轴线旋转的转动装置；本实用新型氧化物薄膜衬底加热装置，结构简单，成本低，不仅提高了加热装置的热效率，减少加热装置的挥发和氧化对薄膜的污染，还提高了双面膜两面品质的一致性，最大限度地减少了热辐射，降低了发热组件的电流，延长了发热组件的寿命。 | ||
| 申请公布号 | CN2856063Y | 申请公布日期 | 2007.01.10 |
| 申请号 | CN200520127950.7 | 申请日期 | 2005.09.28 |
| 申请人 | 中国科学院物理研究所 | 发明人 | 王瑞兰;郑东宁;李宏成;田海燕 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01);H01L21/02(2006.01) | 主分类号 | C23C14/50(2006.01) |
| 代理机构 | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 尹振启 |
| 主权项 | 1、一种氧化物薄膜衬底加热装置，其特征在于，包括带有发热面的发热体、衬底定位组件、防热辐射罩，其中，衬底定位组件设置在发热体的发热面的上方，发热体和衬底定位组件设置在防热辐射罩内，衬底定位组件上方的防热辐射罩上带有与衬底定位组件所限定的面积大小及形状相对应的开口，衬底定位组件和防热辐射罩都固定在底座上，底座上设置有沿发热面的轴线旋转的转动装置。 | ||
| 地址 | 100080北京市海淀区中关村南三街8号 | ||