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发明名称 PULSE LASER WITH PULSE ENERGY TRIMMER
摘要
申请公布号 EP0998773(B1) 申请公布日期 2007.01.10
申请号 EP19980926567 申请日期 1998.06.11
申请人 CYMER, INC. 发明人 SANDSTROM, RICHARD, L.
分类号 H01S3/097;H01S3/13;G02F1/03;H01S3/00;H01S3/115;H01S3/137 主分类号 H01S3/097
代理机构 代理人
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