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经营范围
发明名称
VERTICAL TYPE MULTI WORKPIESE PROCESSING SYSTEM AND METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号
KR100665662(B1)
申请公布日期
2007.01.10
申请号
KR20050043904
申请日期
2005.05.25
申请人
发明人
分类号
H01L21/02;G02F1/13
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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