MEMS加速度地震传感器

摘要

本发明涉及一种MEMS加速度地震传感器，包括上电极、下电极和可移动的中间电极，上、下电极是以微机械加工技术形成的槽型电极，中间电极包括边框、质量块、悬臂梁。本发明质量块为正六边形结构，通过其上均布设置的三条悬臂梁支撑在边框及上电极、下电极形成的槽中。保证了中间电极平动，本发明横向隔离性能效果好，线形好，抗冲击性强，温度漂移小，本发明结构简单，体积小，安装方便，工作可靠性高。特别适合于制作三分量传感器。

主权项

1.一种MEMS加速度地震传感器，包括上电极、下电极和可移动的中间电极，上电极、下电极是以微机械加工技术形成的槽型电极，中间电极包括边框、质量块、悬臂梁，其特征在于：质量块为正六边形结构，通过其上均布设置的三条悬臂梁支撑在边框及上电极、下电极形成的槽中。