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发明名称
摘要
申请公布号 JP3865113(B2) 申请公布日期 2007.01.10
申请号 JP20000207473 申请日期 2000.07.07
申请人 发明人
分类号 C11D7/50;C11D7/28;C11D17/00;C23C14/00;C23C16/44;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 C11D7/50
代理机构 代理人
主权项
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