表征方法、表征处理操作的方法、以及装置制造方法

摘要

公开了一种系统，其中在晶片处理期间，衬底晶片的变形被监控。在一个实施例中，在每次曝光和处理操作之后，通过将多个参考标记的位置与数据库中的值相比较，测量衬底晶片中的失真。

主权项

1.一种表征衬底的方法，所述方法包含：测量所述衬底上的位置，所述衬底上具有许多测量场并且每个场具有许多测量位置；至少基于测量场的数目、每个场的测量位置数目以及许多模型参数，计算估计方差；以及比较计算的估计方差和阈值量以此确定所述衬底的状态。