发明名称
摘要
申请公布号 JP3866707(B2) 申请公布日期 2007.01.10
申请号 JP20030338159 申请日期 2003.09.29
申请人 发明人
分类号 G11C11/22;H01L21/768;H01L21/8246;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/108;H01L27/115 主分类号 G11C11/22
代理机构 代理人
主权项
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