| 发明名称 | 制作MEMS静电夹具的方法 | ||
| 摘要 | 本发明的目的在于形成用于多极静电夹具的夹钳板的方法。该方法包括在半导体平台上方形成第一导电层并限定该第一导电层的彼此电隔离的多个部分。在第一导电层上方形成第一电绝缘层，该第一电绝缘层包括具有从该处延伸第一距离的多个MEMS突起的顶表面。此外，多个极电连接到第一导电层的相应多个部分，其中在该多个极之间施加的电压可操作用于在夹钳板中感应出静电力。 | ||
| 申请公布号 | CN1894788A | 申请公布日期 | 2007.01.10 |
| 申请号 | CN200480032031.X | 申请日期 | 2004.10.28 |
| 申请人 | 艾克塞利斯技术公司 | 发明人 | P·克雷曼;S·秦;E·亚伦;D·布朗 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01) | 主分类号 | H01L21/68(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 顾珊;梁永 |
| 主权项 | 1.一种形成用于多极静电夹具的夹钳板的方法，包括：在半导体平台上方形成第一导电层并限定该第一导电层的彼此电隔离的多个部分；在第一导电层上方形成第一电绝缘层，该第一电绝缘层包括具有从其延伸第一距离的多个MEMS突起的顶表面；以及形成电连接到第一导电层的相应多个部分的多个极，其中在该多个极之间施加的电压可操作用于在夹钳板中感应出静电力。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||