| 发明名称 | 药液认定方法、半导体器件及液晶显示装置的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种药液认定方法。该药液的认定方法包括以下步骤：(a)按照颗粒的每种尺寸，求出药液中的颗粒数量；(b)按照上述颗粒的每种尺寸，预测上述药液对使用该药液制造的被制造器件产生的影响；和(c)使用上述(a)的结果和上述(b)的结果，求出上述药液对上述被制造器件产生的影响度，根据该求出的结果评价上述药液的品质，根据该评价结果判断上述药液是否合格，根据该判断结果，把上述药液认定为在上述被制造器件的制造工序中使用的药液。 | ||
| 申请公布号 | CN1892422A | 申请公布日期 | 2007.01.10 |
| 申请号 | CN200610094228.7 | 申请日期 | 2006.06.29 |
| 申请人 | 株式会社东芝 | 发明人 | 近藤丈博;青山寿子;盐原英志;伊藤信一 |
| 分类号 | G03F7/00(2006.01);H01L21/00(2006.01);G02F1/1333(2006.01) | 主分类号 | G03F7/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 | 代理人 | 李峥;于静 |
| 主权项 | 1.一种药液的认定方法，包括以下步骤：(a)按照颗粒的每种尺寸，求出药液中的颗粒数量；(b)按照上述颗粒的每种尺寸，预测上述药液对使用该药液制造的被制造器件产生的影响；和(c)使用上述(a)的结果和上述(b)的结果，求出上述药液对上述被制造器件产生的影响度，根据该求出的结果评价上述药液的品质，根据该评价结果判断上述药液是否合格，根据该判断结果，把上述药液认定作为在上述被制造器件的制造工序中使用的药液。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||