加热器一体型负电荷氧原子发生装置

摘要

本发明的负电荷氧原子的制造装置为加热由钙铝酸盐复合氧化物构成的构件，将负电荷氧原子抽出的负电荷氧原子的制造装置，上述钙铝酸盐复合氧化物薄膜形成于氧化锆板或由氧化钇稳定化氧化锆构成的基板上，上述构件加热用加热器邻接于由上述钙铝酸盐复合氧化物形成的薄膜或成为一体，形成于上述基板内部或表面附近。或者，上述钙铝酸盐复合氧化物被薄膜形成于不锈钢制的陶瓷·加热器基板上。上述钙铝酸盐复合氧化物的氧化钙∶氧化铝的摩尔比为12∶7。

主权项

1.负电荷氧原子的制造装置，此装置为加热由钙铝酸盐复合氧化物构成的构件将负电荷氧原子抽出的负电荷氧原子的制造装置，其特征在于，上述钙铝酸盐复合氧化物被薄膜形成于氧化锆板或由氧化钇稳定化氧化锆构成的基板上，上述构件加热用加热器接近于由上述钙铝酸盐复合氧化物构成的薄膜，形成于上述基板内部。