在线微波功率微机械传感器及其制造方法

摘要

在线微波功率微机械传感器是一种用于实现在线的微波功率检测的器件，该传感器由微带线定向耦合器、微波功率放大器、微波功率微机械传感器三个部分串联构成；基于GaAs MMIC工艺实现微带线定向耦合器的步骤如下：a.准备GaAs衬底，b.淀积金属并光刻、刻蚀出耦合微带线的接地板，c.淀积介质层，光刻、刻蚀获得耦合微带线的介质层,d.淀积金属并光刻，刻蚀出耦合微带线的导体带即主传输线和副传输线，在获得导体带的同时光刻、刻蚀出微波功率放大器的输入端共面波导及输出端共面波导；微波功率放大器为金属半导体场效应晶体管构成。间接加热终端式微波功率微机械传感器基于GaAsMMIC工艺实现。

主权项

1、一种在线微波功率微机械传感器，其特征在于该传感器由微带线定向耦合器(1)、微波功率放大器(2)、微波功率微机械传感器(3)三个部分串联构成；其中，微带线定向耦合器(1)包括一根主传输线(11)和一根副传输线(12)，副传输线(12)通过输入共面波导(21)与微波功率放大器(2)的输入端相连接，微波功率放大器(2)的输出端通过输出共面波导(22)与微波功率微机械传感器(3)的输入端相连接；微带线定向耦合器(1)的结构为：底面是接地板(13)，接地板(13)上面是GaAs衬底(15)，介质层(14)上面是主传输线(11)和副传输线(12)，其中主传输线(11)为一条直带状，副传输线(12)为“C”形的带状；微波功率微机械传感器(3)采用间接加热终端式微波功率微机械传感器，其结构为：在GaAs衬底(31)上有很多并排排列的AlGsAs热电极(32)，两热电极(32)之间是SiON介质层(33)，在AlGsAs热电极(32)的两端与金属热电极(34)之间通过N型GaAs作为粘合层(35)连接形成热电堆，热电堆与最上层的用作终端电阻的NiCr金属层(37)之间有一层介质层(36)，在热电堆输出端为直流电压输出压焊块(38)。