元件按压装置

摘要

本发明公开了一种元件按压装置。元件按压头利用设置在轴部件一端的元件保持工具保持元件，围绕轴部件的轴线旋转该元件，并在轴线的轴向上按压所述元件，第一音圈电机和第二音圈电机设置在上板与下板之间，以从其相对侧将轴部件夹在中间，使得载荷从联接到该两音圈电机的可移动磁体保持部的下板传递到轴部件。

主权项

1.一种元件按压装置，其利用设置在轴部件一端的元件保持工具保持元件，围绕所述轴部件的轴线旋转所述元件，并在轴线的轴向上按压所述元件，从而将元件压靠在基板上，该元件按压装置包括：用于在轴向上产生第一推力的第一音圈电机，包括第一线圈和可相对于该第一线圈移动的第一磁体；用于在轴向上产生第二推力的第二音圈电机，包括第二线圈和可相对于该第二线圈移动的第二磁体；第一联接件，用于使一对所述第一线圈和第二线圈或所述第一磁体和第二磁体相互联接；第二联接件，用于使另一对所述第一线圈和第二线圈或所述第一磁体和第二磁体相互联接；设置在所述第一音圈电机与所述第二音圈电机之间的旋转保持部，用于相对于所述第二联接件旋转地保持旋转所述轴部件；固定到所述第一联接件的旋转驱动机构，用于驱动所述轴部件，并允许所述轴部件在所述轴向上相对于所述第一联接件发生相对位移；和引导装置，用于在所述轴向上相对于所述第一联接件引导所述第二联接件，同时限制所述第二联接件相对于所述第一联接件围绕所述轴线旋转。