发明名称 A PLASMA GENERATING APPARATUS HAVING AN ELECTROSTATIC SHIELD
摘要
申请公布号 EP1040500(A4) 申请公布日期 2007.01.10
申请号 EP19980960250 申请日期 1998.11.17
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 YOUNG, LYDIA, J.;PACAK, VOJTECH
分类号 H05H1/46;C23C16/50;H01J37/32;H01L21/205;(IPC1-7):H01J7/24 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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