| 发明名称 | 抗辐射退化的液晶单元 | ||
| 摘要 | 本发明的实施例涉及抗UV的液晶单元。本发明的一个实施例是增加在液晶单元内存储的液晶材料的容量。例如，可以利用沟槽来提供存储额外的液晶材料的贮液器(24、28)。本发明的另一个实施例在液晶单元中使用无机对准层(33)，而不是使用有机材料作为对准层。本发明的又一个实施例使用泵(91)来使液晶材料循环过液晶单元。本发明的液晶单元可以用作光刻成像系统(50)中的SLM(53)。 | ||
| 申请公布号 | CN1894621A | 申请公布日期 | 2007.01.10 |
| 申请号 | CN200480037290.1 | 申请日期 | 2004.12.14 |
| 申请人 | 安捷伦科技有限公司 | 发明人 | 查尔斯·D·霍克;彼得·R·洛博石;雷内·P·海尔兵;西村健 |
| 分类号 | G02F1/13(2006.01) | 主分类号 | G02F1/13(2006.01) |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 赵飞 |
| 主权项 | 1.一种光学元件(20、30、40或93)，包括：透明顶极板(22、32或42)；包括有源区的衬底(23、31或41)，所述衬底和所述顶极板共同限定空腔；所述空腔内的液晶材料；以及用于减少由于暴露至辐射而使所述液晶材料分解所导致的污染物累积的装置。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||