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发明名称 Silver-nano vapor deposition method using sputtering process
摘要
申请公布号 KR100666261(B1) 申请公布日期 2007.01.09
申请号 KR20050071664 申请日期 2005.08.05
申请人 发明人
分类号 C23C14/34;C23C14/16 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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