发明名称 VACUUM EVAPORATION EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR100665788(B1) 申请公布日期 2007.01.09
申请号 KR20020069897 申请日期 2002.11.12
申请人 发明人
分类号 H05B33/10;C23C14/04;H01L51/50;H05B33/14 主分类号 H05B33/10
代理机构 代理人
主权项
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