发明名称 PROCEDE DE REALISATION D'UN SUBSTRAT DEMONTABLE
摘要
申请公布号 FR2878535(B1) 申请公布日期 2007.01.05
申请号 FR20040052796 申请日期 2004.11.29
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT PUBLIC A CARACTERE SCIENTIFIQUE TECHNIQUE ET INDUSTRIEL 发明人 TAUZIN AURELIE;LAGAHE BLANCHARD CHRISTELLE
分类号 C30B25/04;H01L21/20;H01L21/762 主分类号 C30B25/04
代理机构 代理人
主权项
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