| 发明名称 |
TUNEABLE OPTICAL FILTER WITH HEATER ON A CTE-MATCHED TRANSPARENT SUBSTRATE |
| 摘要 |
a glass substrate (410); a crystalline silicon layer (402) bonded to the glass substrate; and a thermally tunable thin-film optical filter (420) fabricated on top of the crystalline silicon layer. ® KIPO & WIPO 2007
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| 申请公布号 |
KR20070003766(A) |
申请公布日期 |
2007.01.05 |
| 申请号 |
KR20067008718 |
申请日期 |
2006.05.04 |
| 申请人 |
AEGIS SEMICONDUCTOR, INC. |
发明人 |
MA EUGENE YI SHAN;COHEN MITCHELL S. |
| 分类号 |
G02B5/20;G02B5/28;G02B6/34;G02F1/01;G02F1/21;H01L21/00 |
主分类号 |
G02B5/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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