| 摘要 |
<p>La présente invention a pour objet une ligne de vide pour le pompage des gaz dans une chambre de procédé, comportant au moins un groupe de pompage comprenant un corps de pompe et un moteur, et au moins un système d'évacuation, caractérisée en ce qu'elle comprend- des moyens de mesure d'au moins un paramètre fonctionnel relatif au moteur,- des moyens de mesure d'au moins un paramètre fonctionnel relatif au système d'évacuation des gaz, et- des moyens de prévision de la durée d'utilisation avant défaillance du groupe de pompage à partir de ces mesures.</p> |
