| 发明名称 |
SCHMALBANDIGER LASER MIT BIDIREKTIONALER STRAHLERWEITERUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60032017(D1) |
申请公布日期 |
2007.01.04 |
| 申请号 |
DE20006032017 |
申请日期 |
2000.12.15 |
| 申请人 |
CYMER INC. |
发明人 |
PARTLO, N.;ERSHOV, I.;SMITH, T. |
| 分类号 |
H01S3/08;H01S3/1055;G03F7/20;H01S3/04;H01S3/10;H01S3/105;H01S3/134;H01S3/225 |
主分类号 |
H01S3/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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