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发明名称 Verfahren zum Kontrollieren des Schichtwiderstandes von Dünnschichtwiderständen
摘要
申请公布号 DE60214786(T2) 申请公布日期 2007.01.04
申请号 DE20026014786T 申请日期 2002.02.26
申请人 NORTHROP GRUMMAN CORP. 发明人 LAMMERT, MICHAEL D.
分类号 H01C17/24;H01L23/52;H01L21/02;H01L21/3205;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01C17/24
代理机构 代理人
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