Mikroelektro-optische mechanische Vorrichtung mit implantiertem Dotierstoff und ein Verfahren zur Herstellung derselben,申请号DE20016024794-传众专利搜索

发明名称	Mikroelektro-optische mechanische Vorrichtung mit implantiertem Dotierstoff und ein Verfahren zur Herstellung derselben
摘要
申请公布号	DE60124794(D1)	申请公布日期	2007.01.04
申请号	DE20016024794	申请日期	2001.10.09
申请人	AGERE SYSTEMS GUARDIAN CORP.;LUCENT TECHNOLOGIES INC.	发明人	AKSYUK, VLADIMIR A.;JIN, SUNGHO;KIM, JUNGSANG;MAVOORI, HAREESH;PARDO, FLAVIO;RAMIREZ, AINISSA
分类号	G02B26/08;B81B3/00;G02B6/12;G02B6/122;G02B6/26	主分类号	G02B26/08
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