| 摘要 |
<p>Gegenstand der vorliegenden Erfindung sind ein Verfahren und eine Vorrichtung zur optischen Abtastung einer Probe, insbesondere mit einem Mikroskop. Dazu sind eine Verstelleinheit (2, 3) sowie eine Abtasteinrichtung (4, 5) vorgesehen. Die Probe (1) wird mittels der von einer Steueranlage (7) beaufschlagten Verstelleinheit (2, 3) gegenüber der Abtasteinrichtung (4, 5) bewegt, oder umgekehrt. Erfindungsgemäß wird für die Verstelleinheit (2, 3) und/oder die Abtasteinrichtung (4, 5) ein Bewegungsfenster (F) definiert, innerhalb dessen mechanische Kollisionen zwischen der Probe (1 ) und der Abtasteinrichtung (4, 5) mit der Abtasteinrichtung (4, 5) ausgeschlossen sind. Dies ist insbesondere vorteilhaft bei biologischen Proben. Zum Kollisionsschutz wird ein berührungsloser, z.B. auf Basis elektromagnetischer oder akustischer Wellen arbeitender Probensensor (8) vorgeschlagen.</p> |
