Technik zum Reduzieren des Ätzschadens während der Herstellung von Kontaktdurchführungen und Gräben in Zwischenschichtdielektrika

摘要

Durch Ausführen eines ersten gemeinsamen Ätzprozesses zur Ausbildung einer Kontaktlochöffnung und eines Abgrenzungsgrabens oder eines offenen Bereichs in einer Metallisierungsschicht mit unterschiedlichen Abtragsraten kann die Ätzfront in dem Abgrenzungsgraben oder offenen Bereich verzögert werden, wodurch die Wahrscheinlichkeit einer Scheibenbogenentladung deutlich reduziert wird. Nachfolgend wird der Abgrenzungsgraben oder offene Bereich bis hinab zu der entsprechenden Ätzstoppschicht in einem weiteren gemeinsamen Ätzprozess geätzt, während welchem ein Graben über der Kontaktlochöffnung gebildet wird.