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发明名称 ??? POLISHING COMPOUND AND POLISHING METHOD
摘要
申请公布号 KR100663781(B1) 申请公布日期 2007.01.02
申请号 KR20057013892 申请日期 2005.07.28
申请人 发明人
分类号 C09K3/14;B24B37/00;C09G1/02;H01L21/304;H01L21/3105 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人
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