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发明名称 PLASMA DOPING SYSTEM COMPRISING A HOLLOW CATHODE
摘要
申请公布号 KR100662678(B1) 申请公布日期 2007.01.02
申请号 KR20027005399 申请日期 2002.04.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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